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干式真空泵

应用领域：半导体，光电，LED，TFT，制药，化工，太阳能，真空镀膜，热处理等。

PS系列技术参数表

机型		单位	PS80	PS160	PS180	PS602	PS902	PS1302	PS1802
抽气速率 （50Hz/60Hz）		L/min	1300/1600	2150/2600	2500/3000	8300/10000	12500/15000	18000/21600	25000/30000
		m3/h	80/96	130/156	150/180	500/600	750/900	1080/1300	1500/1800
		cmf	48/57	77/92	88/105	294/353	441/530	580/770	875/1050
极限真空		Torr	7.5*10-3			7.5*10-4
		mbar	1*10-2			1*10-3
		Pa	≤1			≤0.1
马达	频率	Hz	50/60
	电压	V	220~440
	功率	Hp	4	6		4+4	6+4	6+6
		kw	2.98	4.47		2.98+2.98	4.47+2.98	4.47+4.47
连接	进气		NW50			ISO100		ISO160
	排气		NW40			NW40		NW40
	流量	L/min	3~7
冷却水	压力	kg/cm2	2.0~4
	温度	oC	18~30
	接头		RC3/8′′
	压力	kg/cm2	0.5~1
氮气	稀释流量	L/min	0~60
	密封流量	L/min	0~20
	连接		Swagelok1/4′′
尺寸L*W*H		mm3	814*380*663	895*405*678	920*425*650	814*380*887	895*405*943	920*425*957	920*425*1047
重量		kg	280	300	320	450	520	540	545
噪音		dB(A)	68	70
控制界面			SEMI E73-0299
真空泵最大漏率		mbar.l/s	1*10-5
室温操作范围		oC	5 oC ~40 oC
最大操作湿度		RH	90%